由于在半導(dǎo)體等電子工業(yè)生產(chǎn)中的重要作用,電子特氣被稱為電子工業(yè)的“血液”
電子特氣下游主要應(yīng)用包括半導(dǎo)體、顯示面板、光伏和LED。全球范圍內(nèi)來(lái)看,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)電子特氣的需求占到總量的71%,顯示面板需求占到18%。在國(guó)內(nèi)范圍中,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)電子特氣需求占到國(guó)內(nèi)總需求的42%,顯示面板需求占到37%,這是由于我國(guó)的晶圓代工產(chǎn)業(yè)的發(fā)展稍顯滯后。
純度要求:
半導(dǎo)體行業(yè)使用的氮?dú)獯蠖嘀苯咏佑|電子零件,純度需要達(dá)到ppm,ppb等級(jí)潔凈度是控制粉塵粒徑小于0.1..0.05m,壓力露點(diǎn)-40℃℃...-70℃。
為了達(dá)到使用氮?dú)獾臉?biāo)準(zhǔn),通常會(huì)在氣體傳輸?shù)嚼鋬龈稍餀C(jī)前端的氣體上安裝露點(diǎn)傳感器,也可以安裝在烘烤凈晶體前面,這樣可以更準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)氮?dú)膺\(yùn)輸過(guò)程中的露點(diǎn)值,保持在極低的濕度,從而提高。
德國(guó)CS露點(diǎn)傳感器FA 510測(cè)量氣體中的微濕度,露點(diǎn)傳感器,在-80°CDP至+20℃DP測(cè)量范圍內(nèi)氣體中的微量濕度。用于在線測(cè)量空氣和腐蝕性氣體中的含水量(露點(diǎn)),可編程開關(guān)輸出,用于報(bào)警信號(hào),并對(duì)露點(diǎn)鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠,防護(hù)等級(jí)高。
FA 515 Ex防爆設(shè)計(jì),用于化學(xué)污染、冷凝等惡劣環(huán)境,非常適合工業(yè)工藝氣體供應(yīng)或壓縮干燥機(jī)效率監(jiān)測(cè)。
FA 505-德國(guó)CS露點(diǎn)傳感器,用于OEM應(yīng)用
在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用中,需要將氮?dú)獾募兌群颓鍧嵍瓤刂圃谝欢ǚ秶鷥?nèi),也因?yàn)樗鼤?huì)直接接觸,精細(xì)的加工工藝和微量水分的改善極大地影響了工藝中產(chǎn)品的產(chǎn)量。根據(jù)行業(yè)調(diào)査,25%以上的工業(yè)不良產(chǎn)品都是由于對(duì)低濕環(huán)境的無(wú)效控制造成的損害。可以看出,在氣體供應(yīng)和輸送系統(tǒng)的規(guī)劃中,與露點(diǎn)傳感器配合進(jìn)行監(jiān)控是一個(gè)不容忽視的重要環(huán)節(jié);監(jiān)控與工藝相結(jié)合,可以隨時(shí)監(jiān)控反應(yīng)物和產(chǎn)品的比例,完全燃燒幫助工廠節(jié)約成本。
我們?yōu)榭蛻籼峁┑獨(dú)饧兌葯z測(cè)設(shè)備,壓縮空氣檢測(cè)儀等多款產(chǎn)品。